ZR轴执行器

直驱旋转平台(晶圆纠偏)

全静压直驱转台(工作台面直径1米6)

XZ堆叠直线模组(压爪)

德玛特直驱旋转平台DDV080

纠偏旋转平台DDA210

高精度三轴对位纠偏平台

五轴光机

半导体晶圆减薄机直驱方案 德玛特控制系统+气浮转台