Z轴直线电机 高精度大推力Z轴直线电机。直线度5μm,重复精度0.3μm,定位精度6μm;小行程大推力,有效行程30mm,最大推力692.4Nm,额定负载13kg。适合半导体行业的点胶机、贴片机等对精度有高要求的设备,广泛用于半导体检测,3c电子零部件加工,激光切割等等。 05月10日
ZR轴执行器 轻薄、大推力、高精控力、高精定位、高行程分辨率的ZR轴执行器。机身厚度18mm,连续推力17.95N,最大推力42.8N,有效行程25mm;采用双轴集成化解决方案,解决了Z轴自重负载问题,能高速、精准完成元件Pick & Place、贴装等动作;具有超高循环寿命,可实现高效生产。 05月09日
直驱旋转平台(晶圆纠偏) 高精度,重复定位精度±3角秒,轴向跳动与径向跳动均为5μm。弧形设计,模块化与灵活性高,可以通过拼接多个扇段来实现不同的运动范围;采用无铁芯设计,结构紧凑,重量轻且厚度薄,总重量仅为5.19kg。 05月09日
全静压直驱转台(工作台面直径1米6) 全静压直驱转台,工作台面直径1米6。全静压轴承,直驱同步转台电机,端径跳精度高达1μm,精度稳定性好。大扭矩、高速度、重负载,峰值扭矩24000Nm,主轴状态转速最高能达到460rpm,最大承重8t。 05月09日
德玛特直驱旋转平台DDV080 台面直径仅80mm,中空为20mm;高精度,重复精度±2";最大转矩可达3.42Nm;最高转速可达240rpm。常用于轻载、对空间要求苛刻的半导体、3C、医疗设备制造等行业。 05月08日
纠偏旋转平台DDA210 薄型高动态响应直驱电机,主要是用于电子检测设备、精密定位平台和纠偏平台。高精度,速度波动小,重复精度达到了±1",定位精度为±2",端径跳也是微米级。超大中空尺寸设计为复杂系统集成提供无限可能。 05月08日
高精度三轴对位纠偏平台 专为高精度、小尺寸材料对位需求设计的mini版对位纠偏平台,机身高仅52mm,长宽仅65mm。结构紧凑、轻量化设计;高精度、高动态响应。直线轴重复精度±0.5μm,旋转轴重复精度±1.3"。全自由度精密调整,能完成各种精细纠偏任务。 05月08日
五轴光机 高精度五轴光机,基座为大理石材质,核心零件采用进口印度石,精度稳定性好。全闭环控制,XY轴采用直驱电机,Z轴采用伺服电机,且Z轴额外配置一条光栅尺。高精度,直线轴直线度5μm,旋转轴重复定位精度±2角秒。使用高精度光栅尺,直线轴光栅尺精度±3μm;且光栅尺为封闭式设计,可有效防尘防水。五轴光机作为高精度加工设备,其主要特点是采用激光作为加工工具。为此,我们的这款光机Y轴使用了钢片式风琴罩,能有效避免切割碎屑对设备造成的损害,从而延长设备使用寿命。 05月08日